Применяется в качестве рабочей жидкости в высоковакуумных паромасляных насосах (для создания сверхвысокого вакуума), в механических вакуумных насосах с масляным уплотнителем.
Изделие используется в вакуумном насосном оборудовании, выполняя функцию рабочей жидкости и обеспечивая формирование сверхвысокого вакуума. Те же функции возложены на масло и по отношению к механическим насосам. Масло вакуумное ВМ-5С обладает хорошей термостойкостью. Кроме того, он демонстрирует химическую инертность по отношению к газам, откачиваемым оборудованием.